Le terme systèmes microélectromécaniques est la version française de l’acronyme anglais MEMS (Microelectromechanical systems).
Mis au point dans les années 1970, ils ont été mis sur le marché dans les années 1980
Les microsystèmes électromécaniques (MEMS) sont des dispositifs miniaturisés à éléments mobiles/vibrants qui sont utilisés pour réaliser des capteurs et des actionneurs. Initialement dérivés de l’industrie microélectronique, les MEMS sont maintenant présents dans une large gamme de produits de consommation.
Les premiers microsystèmes électromécaniques ont été mis au point dans les années 1970 et ont été mis sur le marché dans les années 1980.
Les MEMS exploitent, entre autres, des effets liés à l’électromagnétisme, la thermique et la fluidique.
Ils sont utilisés dans des domaines aussi variés que l’automobile, l’aéronautique, la médecine, la biologie, les télécommunications, ainsi que dans certaines applications « de tous les jours » telles que certains vidéoprojecteurs, téléviseurs haute-définition ou airbags pour automobiles…
Les microsystèmes électromécaniques que l’on appelle les capteurs Mems ont pour objectif de lier une déformation mécanique avec une variation électrique. C’est le cas des capteurs de pression qui nous permettent de surveiller nos pneus ou encore des capteurs d’accélération qui commandent nos airbags.